隔膜真空泵历史发展

         隔膜真空泵作为一种新型驱动泵，其显著特点为能耗低、控制精度高、响应度快、可靠性稳定、坚实耐用、无热量生成以及具有较好的输入输出性能广泛应用在航空航天、医疗化工、自动化等领域。 隔膜真空泵是利用驱动装置通过力传动机构将动力间接的传导至泵腔隔膜，采用共振原理实现系统的互动。天津津腾研究人员通过改变不同结构，设计了具有不同功能和应用场景的隔膜真空泵。


早在1975年，美国L.Thomas Jr等学者设计了一种隔膜泵,在试验过程中通过将两个圆形 振子对称分布形成一个封闭的泵腔，在电压的驱动这两个 振子会产生相对运动，从而实现流体的输出。双对称 振子相较于单个 振子使隔膜泵腔体容积变化更大，流体输出更高。入口阀和出口阀都采用电磁换向阀，用来配合 振子做往复运动。

1978 年日本学者提出了一种双振子单腔的 隔膜泵，该泵主要依靠被动单向阀实现进出口液体的单向流动。美国研究学者研究了种新型 隔膜泵该泵可以精确的控制药物输送

1980年，荷兰学者 VanLitel等人采用特殊方法对硅材料的表面进行精细加工，采用轻薄的玻璃制成泵腔隔膜，通过 振子振动压缩腔体实现流体的流动.

1999 年，日本学者设计出一种波纹管式微型共振隔膜泵，工作时，通过压电堆叠间接驱动泵腔隔膜产生形变，使泵腔的体积发生变化，实现流体的传输。

2004 年，德国学者提出了一种新型压电堆叠共振泵，通过压电堆着和质量块构成振动系统，聚动流体由入口进入再由出口排出。

2009 年，日本学者 Dau等人研发出一种新型无阀气体泵，该泵在材料表面加工十字交又微通道结构并使通道内的流体在一个振动周期内发生变化，在无阀的售况下对气体实现单向输送。

2012年，美国 Yasser Anis等学者设计了一种静态变形驱动的 隔膜泵这种隔膜泵可以完成单个微粒细菌的拾取。

2012年，以色列学者 Gabor K6sa和 Ori Ehrenberg 设计出一种依靠行波驱动液的微泵。该泵结构由六段连接电极的管构成动液体的微泵分别施加等频率但幅值不同、相位不同的电压管产生的行波就会驱动液体前进。